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2026年10月2日(金)

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10nm以下の欠陥を数十倍の速度で検査、日立ハイテクとZEISSが次世代検査装置の開発を加速

IT・科学最初の報道 2026/10/1 06:50 ／最新 16時間前

各媒体の報道（古い順）

マイナビニュース2026/10/1 06:50
10nm以下の欠陥を数十倍の速度で検査、日立ハイテクとZEISSが次世代検査装置の開発を加速
日立ハイテクとZEISS Semiconductor Manufacturing Technology(ZEISS SMT)は、先端半導体の量産工程に向けた次世代マルチビーム電子線検査装置の共同開発体制を強化する。日立ハイテクの電子線・光学…
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PR TIMES2026/10/1 07:40プレスリリース
日立ハイテクとZEISS社が次世代マルチビーム電子線検査装置の共同開発を加速
[日立ハイテク] 株式会社日立ハイテク(以下、日立ハイテク)は、 ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology (本社所在地：ドイツ、以下、ZEISS SMT)と共同で進めてきた半導体製造における…
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